研究設備/研究機器
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| 低温電気測定装置（１） | 抵抗加熱蒸着装置 |
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| 小型イオンシャワー装置 | 高周波スパッタリング装置 |
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| カーボンナノチューブ成長装置 | ワイヤボンダ |
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| 電子線描画装置 | フォトリソグラフィー |
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| 原子間力顕微鏡（AFM） | フォトルミネッセンス装置 |
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| マスクレス装置 |
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